ASML·AMAT·램리서치·TEL 등 4대 장비기업 한국에 R&D센터 건설

[포쓰저널=문기수 기자] 네덜란드 반도체장비기업 ASML이 경기도 화성에 제조·트레이닝 센터를 건립한다.
산업통상자원부는 16일 오전 경기도 화성에서 ASML 화성 뉴 캠퍼스(New Campus)기공식이 개최된다고 밝혔다.
ASML은 2025년까지 총 2400억원을 투자해 1만6000㎡(4839평) 규모의 New Campus를 건립한다.
이곳에는 심자외선(DUV)·극자외선(EUV) 노광장비와 관련핸 부품 등의 제조센터와 첨단기술 전수를 위한 트레이닝 센터, 체험관 등이 들어선다.
산자부는 ASML의 New Campus 시설 유치를 위해 2020년부터 경기도, 화성시, KOTRA 등과 함께 긴밀히 협력해왔다. 지난해 11월에는 투자협약도 체결한바 있다.
이번 화성 New Campus 조성을 통해 글로벌 반도체 장비업계에서 높은 위상을 차지하는 ASML와 국내 반도체 기업과의 협력이 더욱 긴밀해짐은 물론, EUV 노광장비 등 첨단장비 관련 소재·부품 공급망이 한층 강화될 것으로 산자부 측은 평가했다.
산업부는 앞으로도 규제완화, 인센티브 강화 등의 외국인투자 환경 개선 추진과 함께 국가경쟁력 강화에 기여하는 첨단기업의 투자유치 노력을 지속할 예정이다.
ASML은 주로 노광장비를 생산하는 세계 반도체 장비 분야 시가총액 1위 기업이다.
초미세 공정을 구현하기 위해 필수적인 극자외선(EUV) 노광장비를 사실상 독점적으로 생산해 공급하고 있다.
ASML의 New Campus 착공에 따라 한국에는 AMAT(어플라이드 머테리얼), 램리서치, TEL(도쿄일렉트론) 등 글로벌 반도체 장비시장에서 60% 이상을 차지하는 상위 4대기업이 모두 한국에 R&D(연구개발)센터를 세우게 됐다.
AMAT은 올해 9월 한국에 차세대 메모리반도체 장비 R&D센터를 신설한다고 밝힌 바 있다.
램리서치는 올해 4월에 반도체 제조 장비 연구개발센터를 새롭게 개관했다.
도쿄일렉트론은 지난해 11월 한국에 반도체 제조 장비 연구개발센터를 증설할 계획이라고 밝힌바 있다.
16일 ASML 화성 New Campus 기공식에는 산업부(무역투자실장), 경기도지사, 화성시장, 경기도의회 경제노동위원장, 화성시 의회의장, 이원욱 국회의원(경기화성을), 주한 네덜란드대사, 주네덜란드 한국대사, ASML CEO, 삼성전자 CTO, KOTRA IK 대표, 반도체협회 부회장, 한국가스안전공사 이사 등이 참석할 예정이다.
