[포쓰저널=김지훈 기자] 반도체 수율과 생산성을 높이기 위해 SK하이닉스가 가우스랩스와 다양한 영역에서 협업해온 기술 성과가 발표됐다

SK하이닉스는 가가우스랩와 25~29일 미국 캘리포니아주 새너제이에서 열리고 있는 국제학회인 ‘SPIE AL 2024’에 참가해 AI 기반 반도체 계측 기술 개발 성과를 발표했다고 29일 밝혔다.

계측은 반도체 제조 과정에서 반도체 소자의 물리적, 전기적 특성이 생산 공정별로 제대로 충족되었는지 확인해 생산성을 높이는 작업이다.

SK하이닉스는 "반도체 수율과 생산성을 높이기 위해 그동안 가우스랩스와 다양한 영역에서 협업을 진행해 왔고, 이번에 권위 있는 국제학회에서 양사의 개발 성과가 담긴 논문 2편을 발표하게 됐다”며 "앞으로도 가우스랩스와 지속 협력해 기술 우위를 확보하기 위해 노력하겠다"고 말했다.

이번 논문 발표를 통해 가우스랩스는 AI 기반 가상 계측 솔루션 ‘Panoptes VM’의 예측 정확도를 높이는 알고리즘인 ‘통합 적응형 온라인 모델’을 소개했다.

가우스랩스가 학회에서 새로 공개한 알고리즘은 기존 AOM을 업그레이드한 버전으로, 동일한 패턴을 공유하는 장비 등의 데이터를 통합 모델링해 데이터 부족 문제를 해결하는 동시에 예측 정확도를 높였다. 이 알고리즘을 적용하면 공정 산포 개선율이 높아진다는 것이 가우스랩스의 설명이다.

가우스랩스는 학회 발표에서 ‘범용 노이즈 제거 기술’도 소개했다.

가우스랩스 측은 “SK하이닉스와 테스트를 진행한 결과, 이미지 획득 시간이 기존 기술의 1/4까지 단축되는 것을 확인했다”며 “앞으로 이 기술이 반도체 계측 장비의 생산성을 42% 개선할 것”이라고 전망했다.