[포쓰저널=문기수 기자] SKC가 정부의 지원에 힘입어 일본 의존도가 90% 이상을 차지하는 반도체 핵심소재 하이엔드급 블랭크 마스크의 국산화에 성공했다.

산업통상자원부는 SKC가 현재 반도체 공정의 핵심소재 중 하나인 하이엔드급 블랭크마스크 시제품을 국내 수요기업과 시험 중에 있으며 올해 하반기 본격적으로 양산할 예정이라고 20일 밝혔다.

반도체 노광공정 핵심소재로 쓰이는 블랭크마스크는 반응시키는 빛의 파장에 따라 KrF(불화크립톤), ArF(불화아르곤), EUV(극자외선)용으로 구분한다. 통상적으로 ArF와 EUV용 제품이 하이엔드급으로 분류된다. 지금까지 국내에서는 범용제품에 쓰이는 KrF용 블랭크 마스크만을 양산해왔다.

SKC는 2018년부터 430억원을 투자해 블랭크 마스크 신규공장을 2019년 말 완공했다. 2021년도에는 이번에 양산하는 ArF 블랭크 마스크보다 한 단계 높은 차세대 ArF 블랭크마스크의 양산을 목표로 하고 있다.

참고로 EUV용 블랭크 마스크의 경우 아직 생산기술을 가지고 있는 국내 업체가 없으며, 일본에서 전량 수입하고 있는 상태다. 

SKC 관계자는 “천안에 마련한 SKC 반도체 소재 클러스터를 중심으로 반도체 사업을 고도화하고 반도체 소재의 국산화율을 높이기 위해 노력하겠다”고 말했다.

이날 정승일 산업통상자원부 차관은 창원 SKC 블랭크 마스크 공장을 방문해 그간 추진해온 정부의 반도체 소부장(소재·부품·장비) 정책의 성과에 대해 설명했다.

산업통상자원부에 따르면 대일본 수입 100대 소부장 품목 중 상위 20대 품목은 2021년 공급안정성 확보를 목표로 국내생산 확대 및 정부 예산을 활용한 기술 개발, 수입국 다변화 등을 추진하고 있다.

특히, 일본의 수출규제 3개 품목이었던 불화수소, EUV용 포토레지스트, 불화 폴리이미드 등의 경우 공장 신증설, 외투기업 투자등을 통해 올해 중 완전한 공급안정화를 달성할 계획이라고 설명했다.

정부는 나머지 80대 품목의 R&D(연구개발)을 진행시키기 위해 1조2000억원의 예산 지원을 추진 하고 있다.

정 차관은 “소부장 기술력 강화, 건강한 산업생태계 구축 등 확실한 변화를 위해 정부, 수요?공급기업들간 긴밀한 협력이 중요하다”며 “조기성과 창출을 위해 소부장 100대 핵심 품목의 상용화에 올해 2100억원 이상을 집중 지원할 계획”이라고 밝혔다.