[포쓰저널=문기수 기자] 삼성이 차세대 반도체 공정에 쓰이는 핵심소재 포토레지스트를 벨기에로부터 조달하고 있다고 일본의 경제전문 매체 닛케이 아시안 리뷰가 10일 보도했다.

닛케이 아시안 리뷰는 삼성전자의 전 간부였다는 박재근 융합전자공학부 교수의 발언을 인용해 보도했다.

박 교수는 삼성이 벨기에 기반을 둔 기업으로부터 EUV 공정용 포토레지스트를 공급받고 있으며, 6~10개월 분량을 구매했다고 밝혔다. EUV 포토레지스트는 차세대 반도체 제작에 쓰이는 EUV(Extreme ultraviolet, 극자외선) 공정에 필수적으로 필요한 소재이다. 

박 교수는 벨기에 기업의 이름을 밝히지 않았지만, 닛케이 아시안 리뷰는 애널리스트들은 해당 벨기에 기업이 ‘EUV레지스트 매뉴팩처링 앤드 퀄리피케이션 센터’일 것으로 보고 있다고 밝혔다.

이 회사는 2016년 일본기업 JSR과 벨기에 연구센터인 IMEC이 합작해 세웠다. 이 회사의 대주주는 JSR의 벨기에 자회사인 ‘JSR마이크로’다.

JSR은 일본 반도체 소재 기업 TOK와 함께 삼성에 EUV 공정용 포토레지스트를 공급해온 것으로 알려졌다.

닛케이 아시안 리뷰는 박 교수의 발언과 지난 7월 JSR 관련 소식통이 닛케이에 “벨기에에 있는 우리의 조인트 벤처를 통해 (삼성에) 포토레지스트를 공급할 것이다. IMEC와 손 잡고 그 곳(벨기에)에서 포토레지스트를 생산할 수 있다”고 말한 발언이 서로 일맥상통한다고 밝혔다.

JSR 관련 소식통은 "제3국에 있는 시설을 통해 (한국에) 포토레지스트를 공급하는 것은 합법적으로 이뤄져야 한다"며 “만약 이 거래가 소재 생산기술 이전에 관련이 있다면 일본 정부의 감시를 받을 수도 있다”고 덧붙였다.

박 교수는 닛케이 아시안 리뷰에 “삼성전자가 벨기에를 통해 포토레지스트를 구매함으로써 일본의 수출규제 효과는 제한적이게 됐다”고 말했다.

삼성전자는 현재 벨기에를 통한 포토레지스트 조달에 대해서는 정확한 답변을 하지 않았다.

현재 국내 업체 중 EUV 공정을 준비하는 곳은 삼성전자 뿐이다. 삼성전자는 화성공장에 7나노 EUV반도체 생산시설을 구축 중이며 내년 초부터 양산에 들어간다는 계획이다.

일본 정부는 지난 8일 삼성에 EUV용 포토레지스트를 수출하는 것을 한달여 만에 첫 허가를 내렸다.

반도체 업계 관계자는 “벨기에 회사로부터 EUV용 포토레지스트를 조달받고 있다는 것이 사실이라면, 사실상 반도체 3종에 대한 수출규제 영향으로부터 해방되는 것이나 다름없다”고 말했다.

일본 정부는 지난 7월 한국에 반도체 핵심소재인 고순도불화수소, EUV공정용 포토레지스트, 폴리이미드 3종에 대한 수출허가를 포괄허가에서 개별허가제로 변경해 수출규제를 강화하고 있다.